VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
NBS SRM 1521 B-70: p-Si(B) After ion etching (35 toa)
1

NORM
REGULAR
4
0
0
0
0
0
4

NBS SRM 1521 B-70: p-Si(B) After ion etching (35 toa)
2003
5
10
13
42
24
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.06
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-0.977517
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2048
4
5346
0.110083
0.376048
409
0.376048
411
0.375219
375
0.374393
410
0.373571
385
0.372752
347
0.371937
394
0.371125
346
0.370316
324
0.369511
328
0.368709
356
0.36791
354
0.367115
329
0.366323
317
0.365534
384
0.364749
384
0.363966
411
0.363187
406
0.362411
374
0.361638
422
0.360869
465
0.360102
443
0.359339
458
0.358578
471
0.357821
438
0.357067
413
0.356315
337
0.355567
335
0.354822
318
0.35408
318
0.35334
337
0.352604
314
0.351871
317
0.35114
311
0.350412
297
0.349688
314
0.348966
299
0.348247
285
0.347531
284
0.346817
274
0.346106
263
0.345399
301
0.344694
288
0.343991
315
0.343292
268
0.342595
279
0.3419
307
0.341209
310
0.34052
319
0.339834
315
0.33915
271
0.338469
288
0.337791
283
0.337115
302
0.336442
299
0.335771
304
0.335103
308
0.334438
276
0.333775
295
0.333114
307
0.332456
279
0.3318
300
0.331147
257
0.330497
277
0.329848
284
0.329203
294
0.328559
294
0.327918
331
0.32728
333
0.326643
332
0.32601
306
0.325378
327
0.324749
269
0.324122
318
0.323497
299
0.322875
272
0.322255
314
0.321637
285
0.321022
307
0.320409
287
0.319798
261
0.319189
262
0.318582
344
0.317978
292
0.317376
282
0.316776
275
0.316178
325
0.315582
343
0.314989
291
0.314397
325
0.313808
295
0.313221
341
0.312635
288
0.312052
326
0.311471
337
0.310893
305
0.310316
321
0.309741
325
0.309168
295
0.308597
330
0.308029
285
0.307462
326
0.306897
322
0.306334
311
0.305773
316
0.305215
295
0.304658
329
0.304103
313
0.30355
316
0.302998
328
0.302449
353
0.301902
299
0.301356
321
0.300813
320
0.300271
381
0.299731
303
0.299193
361
0.298657
345
0.298123
348
0.29759
334
0.29706
311
0.296531
344
0.296004
310
0.295478
346
0.294955
318
0.294433
327
0.293913
340
0.293395
342
0.292878
345
0.292364
339
0.291851
351
0.291339
355
0.29083
361
0.290322
368
0.289815
331
0.289311
338
0.288808
372
0.288307
373
0.287807
361
0.287309
364
0.286813
341
0.286318
363
0.285825
349
0.285334
383
0.284844
362
0.284356
355
0.28387
367
0.283385
373
0.282901
375
0.282419
369
0.281939
361
0.28146
378
0.280983
360
0.280508
375
0.280033
369
0.279561
390
0.27909
346
0.27862
344
0.278152
358
0.277686
370
0.277221
373
0.276757
405
0.276295
385
0.275835
386
0.275375
362
0.274918
394
0.274461
342
0.274007
434
0.273553
372
0.273101
403
0.272651
414
0.272202
374
0.271754
413
0.271308
401
0.270863
360
0.27042
398
0.269977
380
0.269537
379
0.269097
376
0.268659
382
0.268223
400
0.267787
393
0.267354
377
0.266921
358
0.26649
387
0.26606
394
0.265631
390
0.265204
415
0.264778
355
0.264353
433
0.26393
435
0.263508
392
0.263087
425
0.262668
423
0.262249
417
0.261832
375
0.261417
434
0.261002
438
0.260589
431
0.260177
415
0.259766
423
0.259357
415
0.258949
439
0.258542
460
0.258136
404
0.257731
414
0.257328
440
0.256926
415
0.256525
474
0.256125
435
0.255726
435
0.255329
414
0.254933
468
0.254538
393
0.254144
439
0.253751
437
0.25336
434
0.252969
440
0.25258
434
0.252192
444
0.251805
509
0.251419
450
0.251034
427
0.250651
468
0.250268
459
0.249887
452
0.249506
463
0.249127
480
0.248749
423
0.248372
466
0.247996
507
0.247621
469
0.247248
462
0.246875
473
0.246504
452
0.246133
439
0.245764
441
0.245395
480
0.245028
476
0.244662
451
0.244296
461
0.243932
475
0.243569
457
0.243207
454
0.242846
485
0.242486
496
0.242127
464
0.241768
438
0.241411
466
0.241055
446
0.2407
476
0.240346
477
0.239993
470
0.239641
498
0.23929
500
0.23894
500
0.238591
505
0.238243
461
0.237896
521
0.237549
469
0.237204
458
0.23686
491
0.236516
495
0.236174
503
0.235833
465
0.235492
486
0.235152
495
0.234814
465
0.234476
502
0.234139
516
0.233803
506
0.233469
527
0.233135
534
0.232801
517
0.232469
571
0.232138
466
0.231807
503
0.231478
485
0.231149
481
0.230822
483
0.230495
461
0.230169
530
0.229844
514
0.22952
480
0.229196
507
0.228874
505
0.228552
505
0.228231
506
0.227912
552
0.227593
559
0.227274
551
0.226957
522
0.226641
566
0.226325
540
0.22601
524
0.225696
525
0.225383
535
0.225071
548
0.224759
552
0.224449
527
0.224139
565
0.22383
565
0.223521
550
0.223214
542
0.222907
509
0.222602
473
0.222297
557
0.221992
542
0.221689
536
0.221386
545
0.221085
525
0.220784
576
0.220483
546
0.220184
523
0.219885
569
0.219587
533
0.21929
574
0.218994
543
0.218698
557
0.218403
491
0.218109
615
0.217816
562
0.217523
534
0.217231
601
0.21694
573
0.21665
621
0.21636
561
0.216071
549
0.215783
537
0.215496
601
0.215209
570
0.214923
578
0.214638
576
0.214353
572
0.214069
608
0.213786
547
0.213504
634
0.213222
577
0.212941
566
0.212661
582
0.212382
608
0.212103
619
0.211825
632
0.211547
549
0.211271
592
0.210994
545
0.210719
571
0.210444
617
0.21017
604
0.209897
581
0.209624
628
0.209352
597
0.209081
592
0.208811
617
0.208541
618
0.208271
671
0.208003
598
0.207735
635
0.207467
616
0.207201
645
0.206935
632
0.206669
603
0.206405
613
0.206141
640
0.205877
613
0.205614
653
0.205352
623
0.205091
615
0.20483
637
0.20457
674
0.20431
628
0.204051
623
0.203793
647
0.203535
651
0.203278
694
0.203022
684
0.202766
645
0.20251
607
0.202256
700
0.202002
643
0.201748
649
0.201496
668
0.201243
633
0.200992
646
0.200741
661
0.20049
647
0.200241
701
0.199991
667
0.199743
725
0.199495
685
0.199247
691
0.199
686
0.198754
699
0.198508
683
0.198263
664
0.198019
706
0.197775
703
0.197531
686
0.197289
711
0.197046
722
0.196805
755
0.196564
703
0.196323
709
0.196083
713
0.195844
755
0.195605
738
0.195366
755
0.195129
728
0.194891
745
0.194655
732
0.194419
735
0.194183
746
0.193948
736
0.193714
762
0.19348
724
0.193246
730
0.193013
759
0.192781
791
0.192549
709
0.192318
734
0.192087
770
0.191857
786
0.191627
728
0.191398
808
0.19117
822
0.190941
812
0.190714
815
0.190487
750
0.19026
835
0.190034
786
0.189809
849
0.189584
779
0.189359
779
0.189135
803
0.188911
764
0.188688
790
0.188466
810
0.188244
842
0.188022
836
0.187801
778
0.187581
810
0.187361
815
0.187141
834
0.186922
760
0.186704
818
0.186486
823
0.186268
812
0.186051
821
0.185835
777
0.185618
864
0.185403
897
0.185188
865
0.184973
857
0.184759
819
0.184545
865
0.184332
899
0.184119
959
0.183907
871
0.183695
947
0.183483
924
0.183272
910
0.183062
871
0.182852
823
0.182642
822
0.182433
820
0.182225
810
0.182016
777
0.181809
723
0.181601
790
0.181395
740
0.181188
714
0.180982
754
0.180777
736
0.180572
726
0.180367
728
0.180163
853
0.179959
1174
0.179756
1926
0.179553
2544
0.179351
1989
0.179149
1223
0.178947
741
0.178746
679
0.178546
713
0.178345
683
0.178145
683
0.177946
632
0.177747
648
0.177549
659
0.177351
712
0.177153
669
0.176956
702
0.176759
708
0.176562
696
0.176366
705
0.176171
676
0.175975
671
0.175781
686
0.175586
628
0.175392
674
0.175199
629
0.175006
594
0.174813
716
0.174621
651
0.174429
644
0.174237
664
0.174046
705
0.173855
677
0.173665
662
0.173475
663
0.173286
705
0.173097
713
0.172908
691
0.172719
717
0.172531
739
0.172344
693
0.172157
666
0.17197
730
0.171784
711
0.171598
713
0.171412
717
0.171227
723
0.171042
695
0.170857
695
0.170673
744
0.170489
707
0.170306
717
0.170123
730
0.169941
740
0.169758
770
0.169576
730
0.169395
788
0.169214
717
0.169033
690
0.168853
728
0.168673
755
0.168493
752
0.168314
700
0.168135
721
0.167956
768
0.167778
734
0.1676
706
0.167423
737
0.167246
728
0.167069
759
0.166893
705
0.166717
739
0.166541
744
0.166366
788
0.166191
760
0.166016
759
0.165842
756
0.165668
792
0.165494
774
0.165321
701
0.165148
805
0.164975
756
0.164803
761
0.164631
748
0.16446
751
0.164289
771
0.164118
806
0.163947
823
0.163777
744
0.163607
748
0.163438
808
0.163269
792
0.1631
799
0.162931
819
0.162763
818
0.162596
777
0.162428
829
0.162261
818
0.162094
783
0.161928
776
0.161761
817
0.161595
804
0.16143
832
0.161265
793
0.1611
834
0.160935
800
0.160771
812
0.160607
833
0.160444
780
0.16028
866
0.160117
854
0.159955
829
0.159792
854
0.15963
820
0.159469
880
0.159307
848
0.159146
860
0.158985
830
0.158825
852
0.158665
833
0.158505
845
0.158345
887
0.158186
863
0.158027
862
0.157868
836
0.15771
896
0.157552
840
0.157394
873
0.157237
941
0.15708
897
0.156923
913
0.156767
891
0.15661
857
0.156454
892
0.156299
851
0.156143
859
0.155988
872
0.155834
890
0.155679
945
0.155525
878
0.155371
949
0.155218
920
0.155064
999
0.154911
942
0.154759
911
0.154606
853
0.154454
940
0.154302
879
0.154151
874
0.153999
950
0.153848
920
0.153698
897
0.153547
838
0.153397
915
0.153247
924
0.153098
901
0.152948
925
0.152799
965
0.15265
937
0.152502
991
0.152354
916
0.152206
981
0.152058
967
0.151911
986
0.151764
956
0.151617
966
0.15147
981
0.151324
954
0.151178
942
0.151032
923
0.150887
993
0.150741
966
0.150596
959
0.150452
931
0.150307
1026
0.150163
957
0.150019
1023
0.149876
958
0.149732
1012
0.149589
971
0.149446
995
0.149304
988
0.149161
1002
0.149019
1050
0.148877
1018
0.148736
997
0.148594
1022
0.148453
1038
0.148313
1064
0.148172
1086
0.148032
1008
0.147892
979
0.147752
997
0.147612
1049
0.147473
1050
0.147334
967
0.147195
984
0.147057
1123
0.146919
1029
0.146781
1061
0.146643
1099
0.146505
1093
0.146368
1032
0.146231
1084
0.146094
1146
0.145958
1086
0.145821
1103
0.145685
1044
0.145549
1048
0.145414
1029
0.145278
1071
0.145143
1077
0.145008
1043
0.144874
1094
0.144739
1065
0.144605
1047
0.144471
1051
0.144338
1095
0.144204
1094
0.144071
1186
0.143938
1218
0.143805
1221
0.143673
1168
0.143541
1151
0.143409
1080
0.143277
1107
0.143145
1104
0.143014
1025
0.142883
1084
0.142752
1055
0.142621
1068
0.142491
1077
0.142361
1115
0.142231
1127
0.142101
1100
0.141971
1163
0.141842
1150
0.141713
1100
0.141584
1127
0.141455
1109
0.141327
1127
0.141199
1156
0.141071
1127
0.140943
1154
0.140816
1189
0.140688
1166
0.140561
1119
0.140434
1124
0.140308
1136
0.140181
1155
0.140055
1125
0.139929
1134
0.139803
1197
0.139678
1135
0.139553
1222
0.139427
1308
0.139303
1426
0.139178
1420
0.139053
1285
0.138929
1152
0.138805
1164
0.138681
1117
0.138558
1135
0.138434
1152
0.138311
1195
0.138188
1125
0.138065
1129
0.137942
1184
0.13782
1126
0.137698
1214
0.137576
1116
0.137454
1193
0.137333
1170
0.137211
1179
0.13709
1227
0.136969
1192
0.136848
1193
0.136728
1205
0.136608
1179
0.136487
1250
0.136368
1230
0.136248
1224
0.136128
1247
0.136009
1218
0.13589
1283
0.135771
1239
0.135652
1228
0.135534
1193
0.135415
1251
0.135297
1312
0.135179
1200
0.135061
1221
0.134944
1224
0.134826
1195
0.134709
1191
0.134592
1238
0.134476
1254
0.134359
1294
0.134243
1443
0.134126
1397
0.13401
1590
0.133895
1392
0.133779
1218
0.133664
1203
0.133548
1240
0.133433
1221
0.133318
1273
0.133204
1238
0.133089
1299
0.132975
1254
0.132861
1273
0.132747
1274
0.132633
1225
0.13252
1318
0.132406
1299
0.132293
1294
0.13218
1306
0.132067
1290
0.131955
1306
0.131842
1354
0.13173
1336
0.131618
1347
0.131506
1405
0.131394
1394
0.131283
1337
0.131171
1424
0.13106
1320
0.130949
1415
0.130838
1344
0.130728
1433
0.130617
1421
0.130507
1378
0.130397
1434
0.130287
1434
0.130177
1419
0.130068
1418
0.129958
1471
0.129849
1456
0.12974
1549
0.129631
1556
0.129522
1545
0.129414
1556
0.129305
1581
0.129197
1560
0.129089
1533
0.128981
1548
0.128874
1519
0.128766
1616
0.128659
1608
0.128552
1487
0.128445
1554
0.128338
1575
0.128231
1612
0.128125
1678
0.128019
1704
0.127913
1718
0.127807
1753
0.127701
1790
0.127595
1825
0.12749
1756
0.127384
1900
0.127279
1773
0.127174
1722
0.127069
1735
0.126965
1712
0.12686
1742
0.126756
1719
0.126652
1633
0.126548
1726
0.126444
1628
0.12634
1768
0.126237
1697
0.126134
1828
0.12603
1936
0.125927
2212
0.125825
2338
0.125722
2355
0.125619
2307
0.125517
2078
0.125415
1844
0.125313
1757
0.125211
1733
0.125109
1612
0.125008
1512
0.124906
1485
0.124805
1414
0.124704
1435
0.124603
1448
0.124502
1507
0.124401
1726
0.124301
1953
0.124201
2029
0.1241
3013
0.124
5075
0.123901
5229
0.123801
2374
0.123701
1354
0.123602
1110
0.123503
1077
0.123404
993
0.123305
964
0.123206
935
0.123107
943
0.123009
925
0.12291
985
0.122812
968
0.122714
939
0.122616
1000
0.122518
1042
0.122421
1060
0.122323
1059
0.122226
1075
0.122129
1052
0.122032
1017
0.121935
1025
0.121838
955
0.121742
931
0.121645
935
0.121549
853
0.121453
902
0.121357
926
0.121261
947
0.121165
956
0.12107
1031
0.120974
1154
0.120879
1267
0.120784
1277
0.120689
1358
0.120594
1512
0.120499
1468
0.120405
1252
0.120311
1086
0.120216
898
0.120122
830
0.120028
814
0.119934
708
0.119841
674
0.119747
640
0.119654
553
0.11956
483
0.119467
582
0.119374
709
0.119281
795
0.119189
849
0.119096
1146
0.119003
2943
0.118911
5346
0.118819
2130
0.118727
280
0.118635
189
0.118543
161
0.118452
160
0.11836
125
0.118269
108
0.118177
120
0.118086
131
0.117995
122
0.117904
113
0.117814
103
0.117723
116
0.117633
115
0.117542
100
0.117452
115
0.117362
86
0.117272
106
0.117183
100
0.117093
118
0.117003
122
0.116914
123
0.116825
156
0.116736
197
0.116647
202
0.116558
145
0.116469
124
0.11638
146
0.116292
129
0.116204
114
0.116115
100
0.116027
97
0.115939
113
0.115851
113
0.115764
106
0.115676
131
0.115589
125
0.115501
132
0.115414
113
0.115327
135
0.11524
123
0.115153
108
0.115067
130
0.11498
113
0.114893
130
0.114807
136
0.114721
119
0.114635
128
0.114549
99
0.114463
121
0.114377
132
0.114292
116
0.114206
143
0.114121
142
0.114036
138
0.113951
138
0.113866
142
0.113781
145
0.113696
137
0.113611
147
0.113527
143
0.113442
147
0.113358
151
0.113274
135
0.11319
140
0.113106
144
0.113022
135
0.112939
158
0.112855
128
0.112772
136
0.112688
143
0.112605
162
0.112522
183
0.112439
171
0.112356
229
0.112273
237
0.112191
214
0.112108
214
0.112026
173
0.111944
135
0.111862
106
0.111779
121
0.111698
107
0.111616
85
0.111534
104
0.111452
97
0.111371
113
0.11129
122
0.111208
133
0.111127
153
0.111046
193
0.110965
189
0.110885
192
0.110804
171
0.110723
151
0.110643
126
0.110563
149
0.110482
124
0.110402
111
0.110322
96
0.110242
29
0.110162
4
0.110083

NBS SRM 1521 B-70: p-Si(B) After ion etching (35 toa)
2003
5
10
13
42
24
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
30.01
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
294
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
96
1.09339
1.09429
33
1.09339
26
1.09339
16
1.09339
28
1.0934
22
1.0934
15
1.0934
25
1.09341
24
1.09341
29
1.09341
26
1.09342
43
1.09342
19
1.09342
32
1.09343
19
1.09343
27
1.09344
6
1.09344
19
1.09344
37
1.09345
26
1.09345
19
1.09345
21
1.09346
28
1.09346
39
1.09346
38
1.09347
19
1.09347
31
1.09348
30
1.09348
37
1.09348
19
1.09349
15
1.09349
19
1.09349
21
1.0935
30
1.0935
30
1.0935
21
1.09351
23
1.09351
31
1.09351
28
1.09352
12
1.09352
19
1.09353
25
1.09353
20
1.09353
32
1.09354
31
1.09354
30
1.09354
0
1.09355
44
1.09355
18
1.09355
11
1.09356
24
1.09356
45
1.09356
19
1.09357
29
1.09357
12
1.09358
16
1.09358
31
1.09358
13
1.09359
37
1.09359
39
1.09359
23
1.0936
18
1.0936
15
1.0936
25
1.09361
30
1.09361
22
1.09361
27
1.09362
27
1.09362
16
1.09363
28
1.09363
24
1.09363
42
1.09364
13
1.09364
17
1.09364
21
1.09365
6
1.09365
43
1.09365
40
1.09366
24
1.09366
19
1.09367
25
1.09367
19
1.09367
30
1.09368
23
1.09368
31
1.09368
19
1.09369
22
1.09369
27
1.09369
35
1.0937
34
1.0937
25
1.0937
15
1.09371
11
1.09371
26
1.09372
36
1.09372
36
1.09372
38
1.09373
15
1.09373
37
1.09373
31
1.09374
39
1.09374
22
1.09374
36
1.09375
32
1.09375
39
1.09375
33
1.09376
38
1.09376
37
1.09377
23
1.09377
57
1.09377
38
1.09378
42
1.09378
44
1.09378
42
1.09379
40
1.09379
55
1.09379
62
1.0938
50
1.0938
78
1.0938
88
1.09381
57
1.09381
85
1.09382
96
1.09382
59
1.09382
88
1.09383
83
1.09383
81
1.09383
87
1.09384
69
1.09384
66
1.09384
51
1.09385
35
1.09385
52
1.09385
19
1.09386
52
1.09386
23
1.09387
27
1.09387
34
1.09387
44
1.09388
48
1.09388
37
1.09388
23
1.09389
35
1.09389
59
1.09389
39
1.0939
27
1.0939
40
1.0939
53
1.09391
39
1.09391
54
1.09391
28
1.09392
32
1.09392
25
1.09393
48
1.09393
33
1.09393
27
1.09394
27
1.09394
21
1.09394
42
1.09395
35
1.09395
28
1.09395
34
1.09396
27
1.09396
26
1.09396
30
1.09397
40
1.09397
37
1.09398
20
1.09398
25
1.09398
21
1.09399
26
1.09399
38
1.09399
16
1.094
19
1.094
25
1.094
15
1.09401
26
1.09401
17
1.09401
28
1.09402
43
1.09402
23
1.09403
22
1.09403
32
1.09403
39
1.09404
42
1.09404
20
1.09404
41
1.09405
32
1.09405
12
1.09405
23
1.09406
24
1.09406
29
1.09406
40
1.09407
35
1.09407
21
1.09408
38
1.09408
55
1.09408
35
1.09409
18
1.09409
34
1.09409
30
1.0941
8
1.0941
19
1.0941
24
1.09411
23
1.09411
16
1.09411
26
1.09412
18
1.09412
19
1.09412
22
1.09413
34
1.09413
30
1.09414
24
1.09414
41
1.09414
21
1.09415
34
1.09415
37
1.09415
35
1.09416
27
1.09416
25
1.09416
33
1.09417
31
1.09417
36
1.09417
25
1.09418
32
1.09418
25
1.09419
18
1.09419
19
1.09419
37
1.0942
16
1.0942
31
1.0942
22
1.09421
35
1.09421
40
1.09421
35
1.09422
22
1.09422
22
1.09422
20
1.09423
24
1.09423
34
1.09423
30
1.09424
19
1.09424
37
1.09425
47
1.09425
28
1.09425
26
1.09426
27
1.09426
26
1.09426
26
1.09427
25
1.09427
25
1.09427
18
1.09428
34
1.09428
24
1.09428
22
1.09429
40
1.09429
25
1.09429

NBS SRM 1521 B-70: p-Si(B) After ion etching (35 toa)
2003
5
10
13
42
24
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
30.01
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
112
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
512
24
1741
1.10118
1.10197
169
1.10118
187
1.10118
181
1.10118
164
1.10119
154
1.10119
154
1.10119
169
1.1012
188
1.1012
155
1.1012
158
1.10121
152
1.10121
159
1.10121
172
1.10122
152
1.10122
157
1.10122
176
1.10122
139
1.10123
160
1.10123
153
1.10123
157
1.10124
157
1.10124
149
1.10124
140
1.10125
145
1.10125
130
1.10125
137
1.10126
145
1.10126
120
1.10126
160
1.10127
149
1.10127
138
1.10127
158
1.10127
172
1.10128
125
1.10128
148
1.10128
131
1.10129
136
1.10129
140
1.10129
145
1.1013
142
1.1013
154
1.1013
133
1.10131
128
1.10131
112
1.10131
137
1.10132
143
1.10132
136
1.10132
116
1.10132
113
1.10133
132
1.10133
134
1.10133
131
1.10134
138
1.10134
138
1.10134
138
1.10135
145
1.10135
152
1.10135
113
1.10136
129
1.10136
125
1.10136
126
1.10137
125
1.10137
130
1.10137
126
1.10138
123
1.10138
123
1.10138
120
1.10138
131
1.10139
125
1.10139
98
1.10139
108
1.1014
120
1.1014
112
1.1014
130
1.10141
124
1.10141
112
1.10141
109
1.10142
118
1.10142
114
1.10142
109
1.10143
125
1.10143
134
1.10143
116
1.10143
122
1.10144
110
1.10144
103
1.10144
111
1.10145
119
1.10145
123
1.10145
101
1.10146
100
1.10146
111
1.10146
111
1.10147
122
1.10147
135
1.10147
127
1.10148
131
1.10148
125
1.10148
124
1.10148
136
1.10149
147
1.10149
155
1.10149
147
1.1015
143
1.1015
157
1.1015
177
1.10151
147
1.10151
164
1.10151
167
1.10152
185
1.10152
170
1.10152
177
1.10153
189
1.10153
158
1.10153
187
1.10153
191
1.10154
188
1.10154
184
1.10154
172
1.10155
167
1.10155
166
1.10155
164
1.10156
176
1.10156
178
1.10156
162
1.10157
147
1.10157
169
1.10157
131
1.10158
158
1.10158
181
1.10158
151
1.10158
146
1.10159
154
1.10159
150
1.10159
154
1.1016
154
1.1016
145
1.1016
148
1.10161
149
1.10161
168
1.10161
193
1.10162
161
1.10162
177
1.10162
183
1.10162
190
1.10163
202
1.10163
238
1.10163
263
1.10164
281
1.10164
323
1.10164
418
1.10165
453
1.10165
528
1.10165
678
1.10166
854
1.10166
933
1.10166
1059
1.10167
1171
1.10167
1245
1.10167
1300
1.10167
1385
1.10168
1523
1.10168
1515
1.10168
1664
1.10169
1741
1.10169
1717
1.10169
1562
1.1017
1425
1.1017
1204
1.1017
1018
1.10171
811
1.10171
569
1.10171
433
1.10172
263
1.10172
200
1.10172
139
1.10172
126
1.10173
81
1.10173
77
1.10173
67
1.10174
40
1.10174
41
1.10174
49
1.10175
50
1.10175
37
1.10175
50
1.10176
45
1.10176
49
1.10176
36
1.10177
24
1.10177
34
1.10177
39
1.10177
34
1.10178
45
1.10178
39
1.10178
33
1.10179
41
1.10179
31
1.10179
36
1.1018
34
1.1018
37
1.1018
36
1.10181
37
1.10181
34
1.10181
29
1.10181
35
1.10182
39
1.10182
32
1.10182
30
1.10183
41
1.10183
41
1.10183
33
1.10184
39
1.10184
47
1.10184
46
1.10185
30
1.10185
39
1.10185
55
1.10186
36
1.10186
32
1.10186
36
1.10186
47
1.10187
33
1.10187
32
1.10187
34
1.10188
36
1.10188
34
1.10188
32
1.10189
35
1.10189
42
1.10189
34
1.1019
47
1.1019
38
1.1019
40
1.1019
31
1.10191
32
1.10191
36
1.10191
35
1.10192
30
1.10192
40
1.10192
31
1.10193
24
1.10193
32
1.10193
29
1.10194
36
1.10194
31
1.10194
31
1.10195
36
1.10195
35
1.10195
34
1.10195
39
1.10196
34
1.10196
31
1.10196
38
1.10197
34
1.10197
39
1.10197

NBS SRM 1521 B-70: p-Si(B) After ion etching (35 toa)
2003
5
10
13
42
24
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
30.01
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
542
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
31
222
1.08071
1.08185
54
1.08071
49
1.08072
42
1.08072
61
1.08073
36
1.08073
64
1.08074
49
1.08074
50
1.08075
52
1.08075
59
1.08075
63
1.08076
54
1.08076
38
1.08077
63
1.08077
50
1.08078
47
1.08078
52
1.08079
58
1.08079
50
1.0808
51
1.0808
34
1.0808
46
1.08081
55
1.08081
48
1.08082
58
1.08082
57
1.08083
41
1.08083
67
1.08084
60
1.08084
62
1.08084
52
1.08085
47
1.08085
57
1.08086
57
1.08086
59
1.08087
57
1.08087
36
1.08088
61
1.08088
51
1.08088
49
1.08089
43
1.08089
54
1.0809
53
1.0809
57
1.08091
57
1.08091
40
1.08092
45
1.08092
49
1.08092
57
1.08093
45
1.08093
62
1.08094
47
1.08094
66
1.08095
49
1.08095
56
1.08096
61
1.08096
50
1.08096
59
1.08097
51
1.08097
54
1.08098
44
1.08098
59
1.08099
36
1.08099
47
1.081
47
1.081
41
1.08101
58
1.08101
56
1.08101
54
1.08102
45
1.08102
55
1.08103
44
1.08103
48
1.08104
56
1.08104
47
1.08105
58
1.08105
49
1.08105
60
1.08106
44
1.08106
61
1.08107
42
1.08107
59
1.08108
55
1.08108
82
1.08109
49
1.08109
65
1.08109
58
1.0811
49
1.0811
60
1.08111
61
1.08111
61
1.08112
70
1.08112
59
1.08113
58
1.08113
59
1.08113
64
1.08114
55
1.08114
70
1.08115
67
1.08115
92
1.08116
79
1.08116
68
1.08117
94
1.08117
92
1.08117
69
1.08118
80
1.08118
109
1.08119
114
1.08119
124
1.0812
117
1.0812
134
1.08121
130
1.08121
157
1.08121
171
1.08122
143
1.08122
139
1.08123
176
1.08123
179
1.08124
191
1.08124
160
1.08125
187
1.08125
182
1.08125
198
1.08126
186
1.08126
198
1.08127
217
1.08127
222
1.08128
220
1.08128
209
1.08129
191
1.08129
176
1.08129
210
1.0813
192
1.0813
173
1.08131
172
1.08131
171
1.08132
158
1.08132
145
1.08133
108
1.08133
147
1.08133
147
1.08134
127
1.08134
118
1.08135
85
1.08135
110
1.08136
102
1.08136
79
1.08137
75
1.08137
81
1.08137
79
1.08138
67
1.08138
53
1.08139
65
1.08139
56
1.0814
42
1.0814
51
1.08141
52
1.08141
49
1.08141
48
1.08142
50
1.08142
44
1.08143
50
1.08143
60
1.08144
47
1.08144
48
1.08145
42
1.08145
48
1.08145
61
1.08146
47
1.08146
38
1.08147
50
1.08147
48
1.08148
59
1.08148
47
1.08149
48
1.08149
53
1.08149
37
1.0815
48
1.0815
42
1.08151
46
1.08151
47
1.08152
42
1.08152
55
1.08153
45
1.08153
48
1.08153
50
1.08154
50
1.08154
50
1.08155
31
1.08155
51
1.08156
53
1.08156
49
1.08156
63
1.08157
44
1.08157
41
1.08158
47
1.08158
49
1.08159
58
1.08159
41
1.0816
48
1.0816
46
1.0816
52
1.08161
46
1.08161
46
1.08162
46
1.08162
45
1.08163
60
1.08163
48
1.08164
40
1.08164
38
1.08164
37
1.08165
45
1.08165
52
1.08166
45
1.08166
51
1.08167
51
1.08167
50
1.08168
35
1.08168
53
1.08168
50
1.08169
50
1.08169
54
1.0817
43
1.0817
56
1.08171
47
1.08171
43
1.08171
44
1.08172
49
1.08172
49
1.08173
50
1.08173
31
1.08174
50
1.08174
47
1.08175
52
1.08175
73
1.08175
50
1.08176
42
1.08176
38
1.08177
57
1.08177
58
1.08178
48
1.08178
46
1.08179
42
1.08179
45
1.08179
45
1.0818
39
1.0818
56
1.08181
39
1.08181
45
1.08182
50
1.08182
43
1.08183
52
1.08183
61
1.08183
54
1.08184
45
1.08184
53
1.08185
end of experiment
